通常,粒子的粒径小到1微米的十分之几,便可造成断路。所以,防止粒子污染,在微电子技术中是十分严格的。
迄今,在纯净气体应用技术中,对于大流量高纯气体输送系统,美国已有输送含0.1μm以上粒子,每立方英尺气体中不超过10个的能力;它还为几个系统输送含有0.02μm以上粒子的气体,其粒子数每立方英尺不超过10个。
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虽然高纯气体不直接作为测量样品组分浓度的衡量工具,但是,因为分析仪器的高精密特点和实验结果的高准确度要求,这些高纯气体的纯度也会直接影响分析结果。法液空Alphagaz实验室气体有99.999%和99.9999%的纯度,极大程度减少杂质。
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当我们在工作中使用高纯气体时,可能会听到呲呲呲的声音,大家的反应一定是“漏气”了。判断高纯气体是否漏气,好的方式是可以用试漏液进行测试,有时可能是因为气瓶阀门没有关紧而导致漏气。
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