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作者:丰之茂工业气体2021/11/15 18:58:33






高纯氧气批发价格管道系统应如何选择?下面就由【 郑州丰之茂工业气体有限公司 】带大家了解一下吧。

万丈高楼平地起,整个高纯气体管道系统的性能大多基于管道安装工作时的质量。其中,关于配管和附件材质的选择是工程质量的***之一。为保证高纯气体在运输中的纯度,减少污染,应选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。

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316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。

另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。

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气体纯度的表示方法是什么?下面就由【 郑州丰之茂工业气体有限公司 】带大家了解一下吧。

(1) 用百分数表示, 如99% , 99.5% , 99.99% 等。

(2) 用英文“9”的字头“N ”表示。如3N、4N、4.8N、5N 等。“N ”的数目与(1) 中“9”的个数相对应, 小数点后的数表示不足“9”的数, 如4N (99199% ) , 4.8N (99.998% ) 等。

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