电子洁净室污染因素：

一、电磁噪声

通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。

二、振动

设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。

应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。

三、生锈

酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。

处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。

  现阶段掌握到净化车间在具体运用中，对要求的溫度及其环境湿度操纵的特性和规定，因而关键的掌握到，当今制药业领域净化车间传统式设计方案中存在的不足，明确提出了提升和提升 环保节能的方案设计，它在设计方案和可靠性设计中有详细描述，将耗能与室内湿度和热自然环境开展较为，展现环保节能和可靠性设计的可行性分析设计方案，明确提出了更新改造和运用给予参照解决方法。

洁净室是污染敏感产品批量生产的条件，洁净室广泛应用于微电子、电子、半导体、光电、精密制造、生物、航天航空、汽车等众多行业中，随着社会经济的高速发展。洁净室应用范围越来越广，各行各业的等级要求也随之提高,洁净室可以有效的提高产品的良率，但是有着很大的局限性。传统洁净室的整体造价非常高,等级越高造价越高。