HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为效高空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.1微米和0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA滤芯生产厂家

    它对直径为0.3微米(头发直径的1/200)以上的微粒去除效率可达到99.7%以上，是烟雾、灰尘以及***等污染物很有效的过滤媒介。(抽烟产生的烟雾颗粒直径为0.5微米)。HEPA滤芯生产厂家

    FFU灵活性——利用FFU***性的结构特点，可随时调整，弥补洁净室机动性能不足，从而解决了生产工艺不宜调整的缺点。

    洁净室厂房的维护结构一般为金属性板制作，一般建成后，布局不能随意改动，但由于生产工艺的不断更新，使得原有的厂房洁净度布局不能满足新工艺的需求，导致洁净室由于产品换代需要频繁的改动，大量浪费财力、物力。HEPA滤芯生产厂家

    如果通过增减FFU数量的方法，就可以局部调整房间的洁净度布局，用以满足工艺的改动，而且FFU自带动力、风口、灯具，从而可以节省大量的***。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可能达到同样效果的。

    因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次***。

空气过滤器初效过滤常为人造纤维滤材制成，外框是由坚固、防潮硬纸框制成。在正常的操作环境下不会变形、、初效纸框过滤器扭曲。此外框前后以对角线固定滤材。滤材与外框紧密的黏合外框防止气漏产生。初效过滤器主要适用于空调与通风系统初级过滤、洁净室回风过滤、局部过滤装置的预过滤，主要用于过滤 5μm 及以上粒径的尘埃粒子，使用计重法测试。也用于多级过滤系统的初级保护。过滤材料有无纺布，尼龙网，铝波网，不锈钢网等，无纺布滤料出风面经过光整处理，防止无纺纤维断裂飞散造成二次污染。HEPA滤芯生产厂家

空气过滤器清洗方法：1清洁部位机组的表面、内部、初效过滤器和中效过滤器，更换过滤器。具体可以参考前文有介绍过的初中过滤器的清洗规程2 清洁用具抹布、槽子、洗洁精、不锈钢架。3 清洁条件初、中效过滤器终阻力大于初阻力2倍。

更换条件：检测洁净室的悬浮粒子数明显超标.。过滤器终风量降至初风量的70%以下时。 过滤器更换后，尘埃粒子计数器对过滤器和安装连接处进行检漏。在扫描巡检的同时，紧固螺栓或用环氧树脂硅胶堵漏。过滤器的检测、更换应及时记录。过滤器更换后，应进行检漏试验并进行验证。HEPA滤芯生产厂家