氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。

真空检漏的具体方法 为了方便说明真空检漏方法,我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。 (1)极限压力合格,升压率不合格 极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。

喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性，使其广泛应用。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。