氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据；自动生成数据保存，可追溯数据来源。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；

外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。 串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。 为了避免外漏的发生，需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。

氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体，氦是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm), 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的氦气进入氦质谱检漏仪，短时间内仪器内部氦气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。