质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每1-2小时校验。氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。

氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；。

氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。