质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。

对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。这些部门的产品要求一定的密封性，其中，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果。

在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。