检漏仪灵敏的部件确保了的监测效果，根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析，发现氦质谱检漏仪其本身拥有着强的检测灵敏度可以的***，并且实现复杂结构之下的漏孔***测量，在对产品进行研发时以更高的度和产品能力，确保这种设备能够的反映真实露的状态，因此氦质谱检漏仪这种强的检测能力促使，该种产品在我国更多真空设备的检查之中得到了广泛的应用；氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,

质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。

先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。

这些部门的产品要求一定的密封性，其中，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2小时校验。