氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性，使其广泛应用。氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为漏气体使用。检漏仪全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。

化学气体大部分为气体，对***造成很大的伤害，甚至会出现停止呼吸而。化学气体泄漏事故不仅给公司造成巨额损失，而且给周边村民造成伤害，生态环境也会遭到严重受损。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。

氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态，往往会增加测试用设备和设备工装。检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。