氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等***气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。

检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为漏气体使用。检漏仪全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。