粗糙和轮廓测量仪器

表面粗糙度轮廓仪是采用一条轮廓中线作为评定基准，借助评定参数：轮廓算术平均偏差Ra、微光不平度十点高度Rz、轮廓大高度Ry、轮廓微观不平度的平均间距***、轮廓的单峰平均间距S、轮廓支承长度率tp等六个参数对表面质量进行评定，终得到所需表面粗糙度的测试检测仪器。表面粗糙度轮廓仪可分为接触式和非接触式。

粗糙和轮廓测量仪器工作原理

接触式表面粗糙度轮廓仪的工作原理触针式表面粗糙度轮廓仪由传感器、 驱动箱、指示表、 记录器和工作台等主要部件组成。电感传感器是轮廓仪的主要部件之一，传感器测杆一端装有触针 （由于金刚石耐磨、 硬度高的特点， 触针多选用金刚石材质）， 触针的要求曲率半径很小，以便于的反映表面情况。 测量时将触针搭在加工件的被测表面上， 并使针尖与被测面保持垂直接触， 利用驱动装置以缓慢、 均匀的速度拖动传感器。 由于被测表面是一个有峰谷起伏的轮廓， 所以当触针在被测表面拖动滑行时， 将随着被测面的峰谷起伏而产生上下移动。 此运动过程又运用杠杆原理经过支点传递给磁芯， 使它同步地在电感线圈中作反向上下运动， 并将运动幅度放大， 从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化， 并将触针微小的垂直位移转换为同步成比例的电信号。

光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法，它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状，解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题，避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理，所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度，要受物镜的景深和鉴别率的限制。峰谷高度超出一定的范围，就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作，所以还在被广泛应用，如上海光学仪器厂生产的9J(BQ)光切法显微镜。

轮廓测量仪器工作原理

电动轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力。精度保证由液压或者气浮导轨等高精密装置完成电动轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪器由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。