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从严格意义上讲，发现氧元素的为瑞典化学家舍勒，而确定氧元素化学性质的为法国化学家拉瓦锡。 在1608年，Cornelius Drebbel证明了加热硝石（xiao酸钾，KNO?）能释放气体。这就是氧气，然而并没有对它进行鉴定。

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在低温条件下加压，使空气转变为液态，然后蒸发，由于液态氮的沸点是‐196℃，比液态氧的沸点（‐183℃）低，因此氮气首先从液态空气中蒸发出来，剩下的主要是液态氧。

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总之，由于氮气和氧气的膜分离法的崛起，中小规模的深冷空分装置已开始让出一部分市场。目前，膜法的主要缺点是产品浓度不够高、回收率较低，这要通过改进吸附剂和高分子膜来克服。

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