激光清洗具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点，被认为是可靠、有效的解决办法。同时，激光清洗可以解决采用传统清洗方式无法解决的问题。例如，工件表面粘有亚微米级的污染颗粒时，这些颗粒往往粘得很紧，常规的清洗办法不能够将它去除，而用纳米激光辐射工件表面进行清洗则非常有效。还由于激光对工件是无接触清洗，对精密工件或其精细部位清洗十分安全，可以确保其精度。所以激光清洗在清洗行业中独具优势。

合适的激光入射角度使清洗效果事半功倍

当激光以一定的倾斜角度入射时，激光直接辐射在粘附颗粒的下方，产生更高的热弹性应力，与垂直入射相比，污染物更容易被清除。此外，研究发现随着倾斜角度的增加，激光辐射面积更加宽广(见图4)，当倾斜的角度为20度时，被清洗区域的面积约为垂直入射时的10倍，有效地提高了激光清洗的效率。

另一类适用于清洁基片与表面附着物的激光能量吸收系数差别不大，或基片对涂层受热形成的酸性蒸气较为敏感，或涂层受热后会产生***物质等情况的清洗方法。该类方法通常是利用高功率高重复率的脉冲激光冲击被清洗的表面，使部分光束转换成声波。声波击中下层硬表面后，返回的部分与激光产生的入射声波发生干涉，产生高能波，使涂层发生小范围的，涂层被压成粉末，再被真空泵清除，而底下的基片却不会损伤。