退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

二、总体要求 （一）主要目标。到2020年，完善工业炉窑大气污染综合治理管理体系，推进工业炉窑达标排放，京津冀及周边地区、三角地区、汾渭平原等大气污染防治***区域（以下简称***区域，范围见附件2）工业炉窑装备和污染治理水平明显提高，实现工业行业、氮氧化物、颗粒物等污染物排放进一步下降，促进钢铁、建材等***行业二氧化碳排放总量得到有效控制，推动环境空气质量持续改善和产业高质量发展。

2.人们必须有一定的掌握的是，试品的排序一定不可以太密不可分。在热管散热板上不可以放置试品，由于那样会在挺大水平上危害热气旋的往动性。此外，性、或是是容易挥发的物件是不可以在隧道炉开展有关的加温烤制的。

3.假如人们必须观查隧道炉中的试品状况，一般是能够打开外道箱门，随后再通过玻璃移门开展观查。但箱门以尽量避免开为好，以防危害控温的实际效果的利润化。

4.终都是十分关键的一点，人们一定要留意用电量的安全性，在应用以前，人们一定要确保烘箱耗电量输出功率。此外，在应用时，温度干万不可以超出其应用温度。

若想了解更多关于隧道炉的知识，

隧道炉烘箱用途广泛：用于烘烤有化学性气体和食品加工行业中需要烘焙的物品，脱去衬底应力，固化墨水，漆膜干燥等。适用于电子、电机、通讯、电镀、塑料、五金化工、食品、印刷、制药、PC板、粉末、含浸、喷涂、玻璃、陶瓷、木材建筑材料等各种精密烘焙、干燥、回火、预热、定型、加工。

台诺炉的工作原理：通过数显表与温度感应器的联接来控制温度，采用热风循环供气方式，热风循环采用水平和垂直两种方式。都经计算，风源是由送风电机转动带动风轮通过电热炉，把热风送到风道后进入烘箱工作室，用后将使用中的空气吸入风道再循环加热应用，这样可以有效地提高温度均匀性。若箱门在使用中被开关，可借此给风循环系统快速***运行温度值。