退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

   从工业炉窑装备和污染治理技术水平来看，我国虽然有较好的生产工艺和环保治理设备，也存在大量落后生产工艺，环保治理设施简易，甚至没有环保设施，行业发展水平参差不齐，劣币驱逐良币问题突出。尤其是在砖瓦、玻璃、耐火材料、陶瓷、铸造、铁合金、再生有色金属等涉工业炉窑行业，“散乱污”企业数量多，环境影响大，严重影响产业转型升级和高质量发展。        实施工业炉窑升级改造和深度治理是打赢蓝天重要措施，也是推动制造业高质量发展、推进供给侧结构性改革的重要抓手。各地要充分认识加强工业炉窑大气污染综合治理的重要意义，深入推进相关工作。

隧道炉烘箱的排风阀如何调试

  隧道炉烘箱风机正常运转，送、回风风机运行频率及排风阀开度，使洁净室相对于箱体内部呈相对正压，隧道式烘箱以防止隧道烘箱停止运行时空气倒灌污染万级洁净室，但压差不能太大，以不影响隧道烘箱灭菌段温度稳定为准（温度显示没有大幅度下降）；箱体内部相对于外部环境呈相对正压，以保证灭菌和冷却段均不出现污染空气从房间倒灌进入箱体内部污染西林瓶。

隧道式烘箱是在吸收国外***干燥灭菌技术的基础上自行开发的干燥灭菌机，它能将物料通过隧道式输送，有效利用干燥间空，适合各种形状物料的干燥。整个设备分为若干温湿度底段，物料在整个干燥区间处于干燥水平，上下交替，包括热风循环式和远红外式。

采用微机系统监测，用输送带输送瓶瓶依次进入隧道灭菌烘箱预热区、高温灭菌区、低温冷却区。输送机的转速无级可调，温度监测系统无纸或有纸记录。全过程均在百级层流保护下进行。