高温大压力传感器研究现状

一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。

近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3,4,5,6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。

气动接近传感器的感应方式

传感器的感应方式

接近感应

接近感应通常意味着检测：

1.是否存在物体

2.受众的大小或简单的形状

接近传感器在操作中可以进一步分为接触式或非接触式和模拟或数字。传感器的选择取决于物理、环境和控制条件。包括以下内容:

机械：可采用适当的机械/电气开关，但操作机械开关需要一定的力，因此通常使用微型开关。

气动：这些接近传感器通过***或扰乱气流工作。气动接近传感器是接触式传感器的例子。但是，这些产品不能用于可能被吹走的轻型零件。

光学：在简单的形式下，光学接近传感器通过切断光束而落下，该光束落入光电池等光敏装置。这些是非接触传感器的例子。值得注意的是，这些传感器的照明环境必须特别小心。例如，光学传感器可能会被电弧焊接中的闪光遮挡，空气中的灰尘和烟云可能会阻碍光的传输。

传感器的耐温性是如何

与所有物理设备系统一样，压力传感器在温度环境中可能是错误的甚至是不可用的。通常，每个传感器都有两个温度范围，即工作范围和补偿范围，补偿范围包含在工作范围内。

工作范围意味着在此范围内，传感器可以在通电后暴露在介质中而不会损坏。但是，这并不表示当处于补偿范围以外的时候其性能也能达到标称的规格(温度系数)。

补偿范围一般是在工作范围之内的一段更狭窄的范围。在这个范围内，传感器确保可以达到标称的规格。