高温大压力传感器研究现状

一般地，当压力范围在10～100 MPa之间时，称之为大压力，大于100 MPa的压力为超大压力。高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器[1]。

近年来，随着MEMS技术的发展，微机械压力传感器由于其具有体积小、功耗低、成本低等优势，而得到了广泛的应用[1,2]。然而，该类传感器在超过120℃环境下使用时，会由于内部PN结出现漏电而导致传感器性能急剧下降，进而导致失效[3,4,5,6]。因此，如何把MEMS技术的优势和现有的技术相结合，通过改进工艺、选择新型的耐高温材料，进而克服MEMS传感器的上述缺点，成为目前国内外研究的重中之重。该研究目前也取得了巨大进展，多种类型材料组合形成的新型敏感元件纷纷问世。

拉压力传感器

拉压力传感器又叫电阻应变式传感器 拉压力传感器又称测力称重传感器，是一种将物理灯号转变为可测量的电灯号输出的装置。它以弹性体为中介，通过力好处在帖传感器双方的电阻应片使它的阻值发生变更，再经过响应的电路转换为电的灯号，从而实现背面的控制。它有柱式、S式，宽泛应用在工业称重体系、平台秤、电子秤、吊钩秤、配料秤等测力场所。 拉压力传感器又叫电阻应变式传感器，隶属于称重传感器系列，是一种将物理灯号转变为可测量的电灯号输出的装置。宽泛应用在工业称重体系、平台秤、电子秤、吊钩秤、配料秤等测力场所。 拉压力传感器因此弹性体为中介，通过力好处在帖传感器双方的电阻应片使称重传感器厂家的阻值发生变更，再经过响应的电路转换为电的灯号，从而实现背面的控制。它的好处是精度高，测量局限广,寿命长,布局简单，频响特征好。 线性度：指传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程局限内实际特征曲线与拟合直线之间的大偏差值与满量程输出值之比。

微型传感器:(1)就单一

微型传感器：

⑴就单一传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小。

⑵就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上而形成的集成的传感器。

⑶就传感器系统而言，微传感器是指传感系统中不但包括微传感器，还包括微执行器，可以***工作，甚至由多个微传感器组成传感器网络，或者可实现异地联网。