在一个操作间，机器以及机器周围走动的人员，会对气流形成障碍。障碍物可以使单向流变成紊流，从而在障碍物周围形成气流团。人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速***，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。

    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

    在无尘车间的选址上要符合无尘车间的要求，可以方便企业进行出产活动，并且考虑到资源的便捷和出资的金额。有车间就触及到有工人日子，因而将地址选在方便日子和水质条件好的当地，遇到周围有污染源应该要提早考虑到危害性。车间内有许多的通道和线路需求提早设定好，防止因为触及的缺陷在后期运用的时分产生，可以将人行路途和车道别离设定，装备合理的线路和管道，无尘车间装饰要对将来的运用有效果，可以带给企业愈加便捷的操作流程才是合理的规划。