洁净室中的气流速度规定：这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低风速的可行性。

    无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

在日常的保护中，净化***室需求留意以下的事项：

　　1、***室净化工程的过滤器替换结束后需确认边框无渗漏现象，并用尘埃粒子计数器进行检测，达到技术指标后方可进行正常工作。

　　2、定时对电气线路进行检修，如有毛病可参照电气原理图进行修理。

　　3、要定时运用仪器测定设备的各项技术指标，如不契合技术参数要求应及时予以处理。

　　4、依据实际运用情况，定时将***室净化工程的初效空气过滤器中的滤料取下清洗。

   　5、当发现风速变小时应首先查看初效空气过滤器表面是否发黑，若发黑则说明预过滤器容尘较多，阻力增大，即应拆下***室净化工程初效空气过滤器内的无纺布进行清洗或予以调换。

　　6、替换空气过滤器时，须拆下喷球板，取出过滤器，按照原有过滤器的规格型号替换新的空气过滤器。装置时应确认过滤器上的箭头符号，箭头应指向气流的方向。并保证密封杰出，避免渗漏。