单向流洁净室一般有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流系统中，气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中，气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。

    光学微电子行业净化工程设计方案分析：对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初***低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。

在日常的保护中，净化***室需求留意以下的事项：

　　1、***室净化工程的过滤器替换结束后需确认边框无渗漏现象，并用尘埃粒子计数器进行检测，达到技术指标后方可进行正常工作。

　　2、定时对电气线路进行检修，如有毛病可参照电气原理图进行修理。

　　3、要定时运用仪器测定设备的各项技术指标，如不契合技术参数要求应及时予以处理。

　　4、依据实际运用情况，定时将***室净化工程的初效空气过滤器中的滤料取下清洗。

   　5、当发现风速变小时应首先查看初效空气过滤器表面是否发黑，若发黑则说明预过滤器容尘较多，阻力增大，即应拆下***室净化工程初效空气过滤器内的无纺布进行清洗或予以调换。

　　6、替换空气过滤器时，须拆下喷球板，取出过滤器，按照原有过滤器的规格型号替换新的空气过滤器。装置时应确认过滤器上的箭头符号，箭头应指向气流的方向。并保证密封杰出，避免渗漏。