洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

    洁净室中的气流速度规定：这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低风速的可行性。

    净化车间洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量：关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规则：关于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，关于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，关于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。关于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测试。