光学微电子行业净化工程设计方案分析：对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初***低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。

从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。

    为什么要做无尘车间？

    无尘车间即无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

在日常的保护中，净化***室需求留意以下的事项：

　　1、***室净化工程的过滤器替换结束后需确认边框无渗漏现象，并用尘埃粒子计数器进行检测，达到技术指标后方可进行正常工作。

　　2、定时对电气线路进行检修，如有毛病可参照电气原理图进行修理。

　　3、要定时运用仪器测定设备的各项技术指标，如不契合技术参数要求应及时予以处理。

　　4、依据实际运用情况，定时将***室净化工程的初效空气过滤器中的滤料取下清洗。

   　5、当发现风速变小时应首先查看初效空气过滤器表面是否发黑，若发黑则说明预过滤器容尘较多，阻力增大，即应拆下***室净化工程初效空气过滤器内的无纺布进行清洗或予以调换。

　　6、替换空气过滤器时，须拆下喷球板，取出过滤器，按照原有过滤器的规格型号替换新的空气过滤器。装置时应确认过滤器上的箭头符号，箭头应指向气流的方向。并保证密封杰出，避免渗漏。