无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的很 好地净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

    无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。

    每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

    无尘室检测前应对工艺设备跟清洁室内部进行仔细清洁,以免影响测验数据;检测清洁度等级时,检测人员坚持人数，有必要穿清洁工作服,测微生物浓度时有必要穿无菌服、戴口罩,测定人员应坐落仪器、仪表下风侧，尽量削减走动跟起伏;清洁室考试前,应对所测环境做全部清洁,但不得使用个别吸尘机吸尘,擦洗人员应穿清洁工作服,荡涤剂可根据场合选用纯化水、、中性洗涤剂或自来水;考试名字首先应测风速、风量、静压,后捡漏,再测清洁度,在其余名字测完并实现名义消毒后,测定***浓度,测定***前不得进行空气消毒,然后测定选定名字。

    洁净室净化工程检测点的安置：依据中华人民共和国***标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规则：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;关于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安置5个测点。