洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

    无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则：禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的很 好地净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

    无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。

无尘车间净化工程该如何选择与维护***呢？

    1.应选择尘土性偏少的净化工程及有关设备，特别是在要留意主题活动一部分的尘土。

    2.应选择浮尘之危害较小的净化工程或插口设备。

    3.制造用的水、汽体、等通常是导致环境污染的缘故，故应配置过滤系统。

    4.设计各设备的配备室内空间时，事前宜考虑到不容易累积微尘的构造，设计各并且以非常容易清理为标准。

    5.机械泵等非常容易造成空气污染物的这种设备，应设定在洁净室外边或送风区，并改装排汽管线排气管。

    6.设定排水管道线、汽体管道和电路系统时，其结构须充分考虑非常容易清理，不容易累积空气污染物。

    7.制造及有关设备应按时清理，以防止微尘的沉积。