乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净车间的棚顶和墙板(涵盖夹芯资料)必须是不焚烧体,且不行以运用有机复合资料。棚顶的耐火极限不行少于0.4小时,分散走道棚顶的耐火极限不行少于1小时。在一个防火区内的综合性工业厂房,其洁净出产区域与一般出产区域两者之间应规划为非焚烧体隔墙密封到顶。隔墙以及相关联的顶板其耐火极限不行少于1小时,墙面上的门窗耐火极限不行少于0.6小时。穿过隔墙或顶板的电缆电线其周围缝隙应运用非焚烧资料堵塞填充。
版权所有©2025 产品网