光学微电子净化工程解决方案:

     净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。

    洁净室净化工程检测仪器的选用：虽然对净化车间内的洁净度的丈量，可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量，并且可以直接显现瞬时的含尘浓度，也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量，使用简单、方便、及时、灵敏。

    净化车间洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量：关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规则：关于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，关于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，关于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。关于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测试。