从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。

    我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快，相继建成一批洁净厂房，并研制成功100级单向流洁净室;与此同时，洁净厂房用设备和资料，如过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入出产，虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距，但已能满足国内部分需求，到20世纪70年代末我国洁净室规 划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。

    不同的企业对于无尘车间装饰有着不同的要求，不同的职业运用的无尘车间关于空间的净化有着不同的要求，在进行过滤器(作用:过滤杂质等)的安置和挑选的时分要根据企业的要求和需求来进行安置。无尘室优点：构造简略、体系制作成本低，洁净室的扩大比较简单，在某些特殊用处场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。无尘厂房关于净化空调体系的加湿问题而言，常用的加湿方法有许多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。

    净化工程是一个体系工程，包含修建、装修、净化空调体系、通风、水、气、电体系，需求多***多工种，依照交叉施工程序、互相配合，才干获得成功。净化工程是操控污染的工程，从一开端就要注重文明施工、注重污染操控，从着装的逐渐深化，打扫的逐渐加强，搬入机具和资材的污染操控，的分阶段操控，物流通道的逐渐减少，一直至完全操控。

    净化工程有三个要害，即气流***、正压操控、（过滤器）的运用。我们需求从一开端就要特别注意这三个要害，并自始至终。