无心磨床是一种***的精密加工方法
无心磨床的发展过程 在现代机械加工领域,磨削是一种***的精密加工方法,也是一种古老的加工方法。它的历史十分悠久,可以追溯到几千年以前。那时,人类为了生存,在同自然界作斗争时所使用的猎具、刀具就是用石块作为磨具进行刃磨抛光。无心磨削是磨削的一种特殊类型,它是在无心磨床上进行的。
超精密特种加工
要获得超精密的加工精度,仍有赖于精密的加工设备控制系统,并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射,使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解),再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉,制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
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