随着集微电子技术和精密机械加工技术有点于一体的微机电系统的出现和它们被日益广泛地应用， SiC作为高温半导体材料，同时拥有良好的机械性能和电性能，在这一领域也有望得到应用。如可以制成各种耐高温气体传感器、压力传感器等