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使这些粒子带有相同电荷，其它带相反电荷的离子则自由扩散到液体介质的周围，形成一个带电离子的扩散层（双电层）。自固体表面至扩散层远处（即带相反电荷为 0 的地方）的两层离子间的电位差称为ξ电位。

在这个过程中，钠原子因失去1个电子而带上了1个单位的正电荷；氯原子因得到1个电子而带上了1个单位的负电荷。这种带电的原子叫做离子。带正电的离子叫做阳离子，如钠离子（Na+）；带负电的离子叫做阴离子，如氯离子（Clˉ）。这两种带有相反电荷的离子之间相互作用，就形成化合物氯化钠。它呈电中性。

只要求选这三种不同极性的溶剂系统，使目标峰在不同的保留时间出峰。如ESI-MS，APCI-MS。大极性化合物选用ESI-MS，极性很小的化合物选用APCI-MS，这些软电离质谱的特点是只给出化合物的准分子离子峰，通过正负离子的相互沟通来确定分子量。

如果样品不纯，就会检出多对准分子离子峰，不但确定了纯度，还能明确混杂物的分子量。的纯度鉴定：从氢谱中如果发现有很多积分不到一的小峰，就有可能是样品是样品中的杂质。利用门控去偶的技术通过对碳谱的定量也能实现纯度鉴定。