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作者:振鑫焱光伏科技2022/4/18 8:10:41
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视频作者:苏州振鑫焱光伏科技有限公司






硅属于半导体材料,其自身的导电性并不是很好。然而,可以通过添加适当的掺杂剂来控制它的电阻率。制造半导体前,必须将硅转换为晶圆片(wafer)。这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体,这种模式贯穿整个材料。

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硅锭生长需要大块的纯净多晶硅,将这些块状物连同少量的特殊III、V族元素放置在石英坩埚中,这称为掺杂。加入的掺杂剂使那些长大的硅锭表现出所需要的电特性。硅晶片大多数生产型晶圆片都要经过两三次的抛光,抛光料是细浆或者抛光化合物。普通的掺杂剂是硼、磷、***和锑。因使用的掺杂剂不同,会成为一个P型或N型的硅锭(P型/硼,N型/磷、锑、***)。


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达到晶体生长的条件,子晶就从熔化物中慢慢被提起。生长过程开始于快速提拉子晶,以便使生长过程初期中子晶内的晶缺陷降到少。然后降低拖拉速度,使晶体的直径增大。当达到所要求的直径时,生长条件就稳定下来以保持该直径。


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抛光过程分为两个步骤,切削和终抛光。这两步都要用到抛光垫和抛光浆。切削过程是去除硅上薄薄的一层,以生产出表面没有损伤的晶圆片。终抛光并不去除任何物质,只是从抛光表面去除切削过程中产生的微坑。


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