无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

无尘车间的目的是为了营造一个更优良的产品制造环境，能够很好地调节控制车间内部的温度、湿度、尘埃、压力等环境要素。将一定空间范围内的空气中的微粒子、***空气、***等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，保证制造产品顺利而。无尘车间不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。 无尘车间等级划分及用途无尘车间根据不同的环境要素调控要求可划分成不同等级。

无尘车间洁净室（区）与周围的空间必须维持在一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。1、不同等级的无尘车间洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净区与室外的压差不应小于10Pa。2、无尘车间洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定3、送风、回风和排风系统的启闭宜联锁，正压差洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机，关闭时联锁程序应相反，负压差洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反4、非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。

    洁净室的组成 （1）洁净室排架结构 由土建工程原材料当场构筑或工厂预制构件的预制构件构筑。除开有效的平模型整体规划布局外，为考虑清洁规定的建筑结构连接点的设计方案和制做，也是关键的组成一部分。

 （2）空气净化系统系统 在***空调设备的基本上，加强气体回来设备（三级过虑），操纵正压力，保证充足的排风量。末级过滤装置的性能对洁净室具备主导作用，尾端送风口安裝的密闭性也不太可能忽略。 

（3）附设机器设备 为保证洁净室的应用规定，应具备优良的人、物清洁设备，如气体吹淋、不锈钢传递窗、余压阀......等，除此之外，用以检测洁净室洁净度等级级別的细颗粒物电子计数器等也是不能缺乏的机器设备。