洁净厂房竣工验收时,应认真检查竣工验收的资料,一般包括下列文件及记录:
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的质量验收记录。
无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用 FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。
无尘车间对基础地坪的要求 1.施工地面含水率:不得大于8%。
2.地面强度与地面粗糙度:一般要求地面强度不小于300kg/cm2(C30),厚度保证在20cm以上,终地面粗糙度为铁板光(0.8~1.6)。
3.地板平整度:一般要求地板在任意的2平方米内平整度不得大于2mm,测量可以采用2米长的检查直尺与塞尺进行,如果超差,可用砂轮机或角 向磨光机进行平整度的整改。
4.防止施工缺陷:地面要求不空鼓、无裂缝、不起砂、无油漆、胶水、放1火涂料等附着物,无柴油、煤油、机油等油类浸透的油渍、无积水及化学物质浸损地面的现象。
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