无尘车间净化装修施工要求: 1、地面处理做自流平地面处理,铺设2mm厚PVC地板。
2、根据GMP规范要求,洁净室在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,本工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。
3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。
4、建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
5、根据GMP认证检查标准,室内装修要符合下列要求:
a.应选用气密性良好,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
b.墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗,减少凹凸面。墙、地面相接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致,并便于识别污染物。
c.门窗与内墙而要平直,结构要充分考虑对空气和水汽的密封,使污染粒子不易从外部渗入,防止由于室内外温差而产生结露。室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断等缝隙均须密封。
6、施工中应控制施工作业中的发尘量,特别是吊顶和夹墙内部等隐蔽空间,必须随时清扫。
7、在己安装过滤器的房间,不能进行有粉尘的装修作业。
8、注意保护已完成的作业面,不得因撞击、敲打、踩1踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装修的污染。
无尘车间适用做什么地坪?从无尘车间的工艺特性出发,我们可知现时适合做无尘车间地坪材料主要两大主流:环氧自流平和水泥固化地坪。值得明确的是,无尘车间地坪材料的选用,没有说“某种材料一定好”的说法。一般来说,这仍需要考虑下性价比的问题,具体做法则只要我们从工程预算和功能要求出发,来挑选合适自家需求的地坪材料。在选择上,若是预算较少,且工厂里没有大型机械,不要求耐压耐重的话,选择环氧自流平即可。反之,若工厂内十几吨重的机械,要求地坪要够硬,使用寿命要够长的话,水泥固化地坪自然成为首1选。地板平整度:一般要求地板在任意的2平方米内平整度不得大于2mm,测量可以采用2米长的检查直尺与塞尺进行,如果超差,可用砂轮机或角向磨光机进行平整度的整改。
无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;在实际生产中,100级换气次数为300~400次/h,1万级为25—35次/h,10万级为15—20次/h。但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。三、无尘车间的地上装置,地上通常选用环氧自流坪地坪或高1档耐磨塑料地板,如有防静电需求的,可选用防静电地板。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。四、无尘车间洁净性能好,不会吸附尘埃,十分适用于净化车间墙体,而且十分节能环保,表面漂亮。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。
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