淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良，并有完善的质量管理体系，可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。

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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良，并有完善的质量管理体系，可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。罗茨真空泵、ZJ系列、JZJX、JZJS系列干式真空泵，W、WY系列往复式真空泵,真空过滤机配套产品等，广泛应用于石油、化工、电子、机械、冶金、矿山、食品、印刷等各个领域。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。

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1、安装干式真空泵前要认真检查集结密封零件数量是否足够，各元件是否有损坏，特别是动、静环有无碰伤、裂纹和变形等缺陷。如果有问题，需进行修复或更换新备件。

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