洁净室的基本知识（一）什么叫洁净室根据“洁净厂房设计规范”G***073-2013中名词解释，洁净室就是“空气悬浮粒子（灰尘、微生物…）浓度受控的房间。其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子少，同时，还要按生产工艺的要求对房间内的温度、湿度、压力、静电、振动、噪声等其他相关参数也要受控。”洁净室广泛地应用在电子（微电子、光电子等）、航天、机械、化工、农业、制药、、食品、实验动物饲养、生物安全和生物工程等各行各业。

风系统风系统流程图

系统采用的是全新风空调箱+FFU 系统：

<1>全新风空调箱结构

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器

千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。

水系统水系统流程图

冰水系统分为一次侧和二次侧.

一次侧冰水水温7-12 度,供给空调箱和风机盘管,二次侧冰水12-17度供给干盘管系统.一次侧冰水和二次冰水为两个不同的回路,之间由板式换热器连接.

板式换热器原理

干盘管:不结露的盘管,因净化车间温度在22 度,其温度12 度左右,故7 度冰水不能直接进入净化车间,所以进干盘管的冰水温度在12-14 度.

般来说，我们用空气中尘埃微粒的浓度和空气中尘埃微粒的粒径来衡量空气洁净程度。若净化车间空气洁净度较低，则电子产品或者元器件很容易会受到污染，导致其性能、产品合格率、可靠性、寿命等受到很大影响。因此，电子产品对空气洁净度的要求很高，许多电子净化车间的洁净度能够达到万级以上。对温湿度有严格要求在电子生产中，过高或者过低的温湿度都会对产品造成恶劣影响。例如；湿度过大，会导致电子元器件漏电、电穿、材料老化；湿度过低又会导致塑料、绝缘材料干燥收缩、变形甚至龟裂。温度过高会导致元器件膨胀，导致尺寸变化、位置偏移、机构变形，影响产品质量。　　对静电有严格要求　　在微电子器件生产过程中，各种因素产生的静电电压，往往会超过电子器件对静电的灵敏度范围，导致电子设备出现故障，损坏设备内部各元器件，引起设备误动。静电还会吸尘，容易积蓄灰尘，导致设备通风散热受到很大影响，导致机械零件出现严重磨损，从而影响设备的使用寿命正因为电子元器件尤其是高精密元器件对空气洁净度、温湿度乃至静电都有着严格的要求，所以才需要通过净化工程建设净化车间。净化车间具有专门的空气洁净系统，能保证车间内空气洁净度、温湿度、静电等都被控制在合适范围内，确保电子产品生产的顺利进行。

洁净生产区应生产流程及相应洁净用房等级要求合理布局。生产线布局不应造成往返交叉和不连续。

生产区内相互联系的不同车间之间应符合品种和工艺的需要，必要时应有缓冲室等防止交叉污染的措施，缓冲室面积不应小于3平方米。

原料前处理不得与成品生产使用同一洁净区域。

生产车间内划出与生产规模相适应的面积和空间作为物料、中间产品、待验品和成品的暂存区，并应严防交叉、混淆和污染。

检验室宜***设置，对其排气和排水应有妥善处理措施。对产品的检验过程有空气洁净要求的，应设洁净工作台。