压电叠堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用单片压电陶瓷电场作用下的直接伸长变形,再通过多层叠加使总的变形达到一个较大的数值。压电比列阀的工作原理：压电比例阀利用压电原件与半导体传感器，通过对电气比例信号的调节，可高精度，高响应、无噪音的对气体的压力与流量进行无级控制。由于在影响压电叠堆位移精度的特性中，滞环特性对其影响，对压电叠堆( Tokin AE0505D16)不同路径的加压过程进行大量数据的实测分析，了解在0~+100V这一区间内的滞环特性。

 经过极化处理后的压电陶瓷，在电场取消之后，会保留一定的宏观剩余极化强度，从而使陶瓷具有了一定的压电性质。压电陶瓷特性是具有压电性, 包括正压电性和逆压电性。控制系统是利用压缩气体作为动力源,在数据采集卡和自行设计的压电驱动式电气比例阀的闭环控制下,通过光栅尺和力传感器的反馈,实现气压缸的快速驱动与准确***，精度可达到+0. 001 mm。比例式压力阀基本上是以电磁线圈所产生的电磁力,来取代传统压力阀上的弹簧设定压力,由于电磁线圈产生的电磁力是和电流的大小成正比的，

 压电叠堆的特性分析：在精密驱动机构中，驱动器是必备的重要部件，驱动器的行呢个直接影响到精密驱动机构的性能，电气比例阀的主要作用是用于连接系统的电气一机械部分,将输人的小功率电信号通过放大转变为控制阀芯运动的电压或电流信号。经过极化处理后的压电陶瓷，在电场取消之后，会保留一定的宏观剩余极化强度，从而使陶瓷具有了一定的压电性质。压电陶瓷特性是具有压电性, 包括正压电性和逆压电性。

 比例式压力阀基本上是以电磁线圈所产生的电磁力,来取代传统压力阀上的弹簧设定压力,由于电磁线圈产生的电磁力是和电流的大小成正比的，为了使陶瓷能表现出宏观的压电特性，就必须在压电陶瓷烧成并于端面被复电极之后，将其置于强直流电场下进行极化处理，以使原来混乱取向的各自发极化矢量沿电场方向择优取向.压电振子产生强烈的振动，其数值大出原有振动位移的几十倍乃至上百倍,利用此谐振状态下大的位移变形进行位移输出。