广州苏盈电子科技-沼气MEMS流量测量
高纯 气广泛应用 于各行业 和工业生产 中，通常 用空气分离工艺 来制取 ，用气态 性高纯气体通过 管道 或钢瓶 收集 容器 输送 给用户 ，用槽车 运输 给用户 。 对于 高纯气体 管道 输送 工艺 ，贸易 转换 计量 通常 采用 气体流量计 ，其公称 通径 在50 毫米 至数百 毫米 之间 。 大多数 交接点 交接点 数量 大，结算 额高 ，往往 是由供需双方 各装一套 流量计 ，从而 做到 公平 计量 ，万无一失 。
对于 高纯气体 流量计 的选择 ，由于 测量 对象 的特点 和传统 习惯 ，多选用 标准 孔板流量计 ，此类 流量计 有以下 特点 ：1)工作 稳定 ，抗干扰能力 强，维修 更换 简单 方便 。2)流量测量 范围广 。测量 的准确性 可以 满足 气体 交易 交接 的要求 。

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便于 计量检定 。 大多数 的检定 方法 都是 几何 检定 ，方法 简单 ，成本 较低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通过 几何 法检定 后，再用实流法进行 一次 检定 。 经验 证，1套流量计 各环节 均合格 ，实流检定 也能 合格 。5)价格 与科里奥利质量流量计 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量计 的一大 缺点 ，但近几年来 ，双量程 孔板流量计 的发展 ，可以 将量程 比扩大 到33 倍，并达到 1.0 %的不确定度 ，弥补 了这一 缺陷 。在采用 差压式流量计 测量 蒸汽流量时，必须 把气相差 压信号 转化 为凝块 。
并且 由于 高纯气体 无尘 、无水滴 、无油 污染 ，为高纯气体 的测量 创造 了优越 的条件 。



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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

能源计量是科学管理能源，实现节能降耗，提高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。

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热式气体质量流量计管道式的可测量低流速气体等微小流量，插入式更适合于大管径。热式质量流量计无活动部件，而且性能相对可靠，具有度高、长期精度稳定、重复性好，受安装条件局限小、耐磨损、测量范围度宽、适合脏污介质、压力损失小、使用寿命长等特点。可以广泛应用于各种领域，适合测量水、油、多种液体、蒸汽、空气、、煤气、、有机气体、油渣等。热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。

热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体

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热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位， 这些部位风道的尺寸、形状、前后直管段长度和风道弯曲状况、风温都不相同

热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。

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热式质量流量计在环境保护和工业中应用发展也比较多，热式质量流量计一般在测量气体的时候必须是干燥的气体，不能含有湿气，流体的可能产生的沉积，由于热式气体质量流量计有以上的优点， 在锅炉风量测量中得到广泛应用，热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位，气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

热式质量流量计响应慢。

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流量测量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物联系发展的基本规律，因此其测量对象已不限于传统意义上的管道液体，凡需掌握量变的地方都有流量测量的问题。流量和压力、温度并列为三大检测参数。对于一定的流体，只要知道这三个参数就可计算其具有的能量，在能量转换的测量中必须检测此三个参数。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。

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物理性质和化学性质有充分认识，再次对安装现场的工艺条件和环境有充分认识，，还要知道用户对流量计测量精度要求，考虑介质流量是不是满足流量计的流量范围要求，安装现场是不是满足流量计的现场安装要求，还要考虑有哪些情况和因素会影响流量计的计量。高量程比差压流量装置，可测量气体、蒸汽、液体及的流量，广泛应用于石油、化工、冶金、电力、供热、供水等领域的过程控制和测量。主要用于工业管道介质流体的流量测量,如气体、液体、蒸气等多种介质。其特点是压力损失小,量程范围大,精度高,在测量工况体积流量时几乎不受流体密度、压力、温度、粘度等参数的影响。




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有模拟标准信号,也有数字脉冲信号输出,容易与计算机等数字系统配套使用,是一种比较***、理想的流量仪表。

目前大部分热式质量流量计都是用来测量气体，只有少量用于测量微小液体的流量。热式质量流量计在环境保护和工业中应用发展也比较多，热式质量流量计一般在测量气体的时候必须是干燥的气体，不能含有湿气，流体的可能产生的沉积，结垢以及凝结物均将影响仪表的性能，热式质量流量计在测量气体时流体温度的变化，大多采用几何检定法进行检定，操作简单而且费用较省。有的供方（或需方）要求在经过几何法检定之后，再用实流检定法检定一次。

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热分布式TMF可测量低流速（气体0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式TMF更适合于大管径。热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。热式质量流量计响应慢。

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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。

通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响

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热气体质量流量计是利用热传导原理测量流量的仪器。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。因此介质温度与介质的比热是关键参数。流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，需要将加热探头加热到比介质温度高50度的状态。