爱德华真空泵性格技术参数

一、XD系列干泵（涡旋泵）

真空腔内无润滑油脂从而确保无污染；使用寿命更长，维护更少；强大的水蒸汽处理能力；XD系列涡旋泵，抽速4.8-35m3／h，极限真空10-2mbar。

二、IDX系列干泵（爪泵）

爱德华干泵是市场上大型干泵的，同时也早将干泵应用恶劣环境。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，极限真空10-2mbar

三、机械泵（油封旋片泵）

EDWARDS推出世界台双模式RV系列真空泵。其的双模式方式使该泵性能，真空高，泵体紧凑，噪音低。 RV系列泵的真空范围从大气压到约0.002mbar。抽气率3-12 m3／h； EM系列真空泵具有结构紧凑、噪音小、低功耗、低工作温度的特点。爱德华真空泵维修保养要求运行中的维护各部件必须在润滑油的润滑下运行。抽气率0.6-275m3／h，极限真空0.002mbar

四、分子泵

沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

五、罗兹泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设先进的微处理器控制；

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

                     S1,=2仇、+Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

则实际抽速为

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3极限压力

   涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。技术数据GV80GV160GV250GV400GV600构造3爪+1杆2爪+1杆3爪式3爪式3爪+1杆排量（工作容积）91。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵