爱德华真空泵性格技术参数

一、XD系列干泵（涡旋泵）

真空腔内无润滑油脂从而确保无污染；使用寿命更长，维护更少；强大的水蒸汽处理能力；XD系列涡旋泵，抽速4.8-35m3／h，极限真空10-2mbar。

二、IDX系列干泵（爪泵）

爱德华干泵是市场上大型干泵的，同时也早将干泵应用恶劣环境。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，极限真空10-2mbar

三、机械泵（油封旋片泵）

EDWA***推出世界台双模式RV系列真空泵。其的双模式方式使该泵性能，真空高，泵体紧凑，噪音低。 RV系列泵的真空范围从大气压到约0.002mbar。抽气率3-12 m3／h； EM系列真空泵具有结构紧凑、噪音小、低功耗、低工作温度的特点。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用六、真空计爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制。抽气率0.6-275m3／h，极限真空0.002mbar

四、分子泵

英国爱德华RV12油封旋片泵 功能，同时具备高真空和高吞吐量性能，超低的噪音级别和卓气囊装置，使其成为广泛适用于各种应用和环境的理想产品.爱德华 RV3、RV5、RV8、RV12 油

封式旋片真空泵，Edward真空泵，Edward RV 泵装有 Ultragrade 19 号油。这一油品

通过一系列添加剂专门调配，可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此，它既能提供受

到极严格控制的蒸汽压力，又具有极强的抗水化能力，可实现较长的使用寿命。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。真空泵转子与静止件轴向摩擦的振动机理理论研究和试验表明，转子与精致件发生轴向摩擦时，真空泵转子的振动特征几乎与正常状况一致，没有明显的异常特征，所以诊断轴向摩擦时，不能用波形、轴心轨迹和频谱方法去识别，必须寻求新的铭感参数。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。工作温度较高，磨损较严重和加工较粗糙的摩擦表面，应选用黏度较大的真空泵油低速重负荷条件下工作的泵浦，应选用黏度较大的真空泵油冬季工作的摩擦零件，应选用黏度下和凝固点滴的真空泵油，而夏天应选用黏度大的真空泵油。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。现场服务与真空泵维护您需要持续改善设备的正常运行时间并降低现场管理成本。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。