特长

● 洁净的真空

● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能

● 能在高吸入压强下运作

用途

◆ 照明、电子、光学、半导体

◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入

◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉

◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备

特长

● 低温领域下的均热化。

● 低噪音、低振动

● 优良的耐腐蚀性

● 多种自主功能选购件

用途

◆ 活性气体

◆ 非活性气体

◆ 用于产生粉尘工艺中的排气

◆ 作为前级泵使用

◆ 冷冻干燥等水蒸气排气

● 高质量、高可靠性的油旋片式真空泵

● 散热效果好、真空度高

● 油位视窗大，便于确认油污染状况

● 低震动、低噪音等优点

● 冰箱、空调、饮水机自动抽空线

● 照明理化学实验用、分析仪器用

● 激光应用机器真空排气设备、真空干燥器

● 电子显微镜的辅助泵、半导体制造设备  ● 溅射设备、真空镀膜设备

惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修***服务（罗茨，螺杆，旋片式，干式，水环式等真空泵维修***）以及各类进口真空泵配件耗材。服务品牌：普旭（博世）、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。●低噪音、低振动●优良的耐腐蚀性●多种自主功能选购件用途◆活性气体◆非活性气体◆用于产生粉尘工艺中的排气◆作为前级泵使用◆冷冻干燥等水蒸气排气。

真空泵的选择及抽速计算

(1)计算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q，计算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q为真空系统的总气体量，Pa. L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。

通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

(2)确定真空泵的抽速。

根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有

1/S=1/Sp +1/U

(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵 。

(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求绝dui无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。

(5)根据***及日常维护运转的经济指标来选择。

03、前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;

② 抽走主真空泵产生的z大气体量;

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的z大压力时所需的预抽时间要求。