沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。尤其是需要含氟的清洁制程来保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基可能会侵蚀泵的内表面。

五、罗兹泵

EDWA***在***早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制；

Drystar GV400和EH2600/EH4200泵组系列结合了经过实际应用检验的EDWARD爪式干泵和液压驱动增压泵；相对系统油封真空泵系统，它具有价格低廉、性能优良和结构紧凑等优点，是一套清洁、耐用的抽气系统。

   Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。Drystar泵组、成本低，并且能够处理粉尘和水蒸汽，免除了油封真空泵系统因工艺污染而导致性能下降和需要频繁维护的***。

EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修

  惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、***维修进口真空泵技术***，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与***服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与***满意的维修服务支持。爱德华真空泵轴承的检修标准爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的专用工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。

概述

Edwa*** 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。

我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。

Drystar 泵可以与 Edwa*** EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。

应用

真空感应熔炼 (VIM)

精密熔模铸造 (PIC)

真空电弧精炼 (VAR)

真空镀膜

电子束焊接

真空烧结

钢脱气

硬化

等离子和 LP 氮化

LP 渗碳

真空铜焊

粘辊

玻璃涂层

滤光片和镜头

真空喷镀

硬盘和光盘母版制作

变压器、电容器和电缆

皮革

辛香料和芳香剂

核工业

真空腔修整

太阳能电池生产

高度可靠的干燥机械装置，已经过 60,000 多套产品实际验证。

技术数据　GV80GV160GV250GV400GV600构造3 爪 + 1 杆2 爪 + 1 杆3 爪式3 爪式3 爪 + 1 杆排量（工作容积）91.5 m3h-1200 m3h-1341 m3h-1540 m3h-1793 m3h-1抽速 *80 m3h-1180 m3h-1250 m3h-1380 m3h-1560 m3h-1极限压力<0.03 mbar<0.1 mbar<0.4 mbar<0.4 mbar<0.05 mbar10 mbar/7.5 Torr 时的功耗3 kW4.2kW6 kW7 kW7 kW电机额定功率4 kW7.5 kW11 kW18 kW22.5 Kw20 oC 时的冷却水流量1 l min-11 l min-14 l min-14 l min-15.5 l min-1封口吹扫（干燥空气）