特长

● 洁净的真空

● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能

● 能在高吸入压强下运作

用途

◆ 照明、电子、光学、半导体

◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入

◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉

◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备

特长

● 低温领域下的均热化。

● 低噪音、低振动

● 优良的耐腐蚀性

● 多种自主功能选购件

用途

◆ 活性气体

◆ 非活性气体

◆ 用于产生粉尘工艺中的排气

◆ 作为前级泵使用

◆ 冷冻干燥等水蒸气排气

ULVAC爱发科VSN1501油旋片真空泵维修

日本（ULVAC）爱发科真空技术行业，代表着真空行业领域的世界标准,优化设计，维修方便，油液位

计和排污阀方便油交换和日常检查。供应爱发科真空泵油，进口真空泵配件，真空泵维修包等耗材。

爱发科VSN1501 双级油旋片真空泵结构，能达到高速化运转。为方便日常***维修工作，油量确

认、油补充、油更换的方向为同一操作方向，为延长油的补充期，一次性加油量8.0~10.5L可变油量。

爱发科日常维护***内容：

1． 检查泵浦操作环境，避免***落入泵浦上。

2． 开机前检查油位油质是否达到开机要求，若泵浦不够刚添加到正常油位。

3． 注意启动及运转声音和升温情况。

4． 系统启动15分钟后查看排气压力，检查排气口有无喷油现象。

5． 在操作介质含有过量水分的情况下，泵浦要在启动前30分钟开机，在系统关闭30分钟后停机。

爱发科VDN602真空泵按工作原理和结构特点分类

(1)机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

(2)射流式真空泵

没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。

　图3 中1#油样是未使用过的新油，这里做为参考比较。2#油样深黑色并且根本看不出有没沉淀物，那一定要立刻更换。3#油样虽然色彩比1#油样深了点,但真空泵运行都会有少量杂质但属于正常范围，可以放心使用。组成●YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。4#油样比3#暗度加深(证明杂质比3#较多)此时要注意观察底部是否有水或颗粒之类，如有就应更换；如果即没颗粒又没水，那仍可以短期保用，但要密切注意变化色彩再深就应该更换。这里说明一点：一般情况油环真空泵初次使用100 h 后更换油，以后每500~2000 工作小时更换一次。但需根据具体应用环境及操作介质而定。换油时应先将油箱内油放完，注入少量新油开机半分钟后再将油放完，z后注入到油位。　　除了这种直接对真空泵油进行检查更换外，在日常维护中还需要定期对进气口过滤器滤芯，油雾分离滤芯，内置粉尘滤芯和叶片进行检查清理，必要时更换。这样也可以有效减少使用过程中对真空泵油的污染。