人员进出无尘车间的要求:
1、进入无尘车间的工作人员必须身体健康,并佩戴相关***;
2、临时进入者须经申请获得批准并佩带临时出入证;
3、进入无尘车间的所有人员应走人员通道,工作人员从换鞋间进入无尘车间,参观人员从参观通道进入参观;
4、通过换鞋间进入无尘车间的人员,必须按规定换鞋、穿着洁净服、戴帽子及口罩,严格按进入流程;
5、进入无尘车间的工作人员不准带入未经洁净处理的各类材料、设备和仪器等,不得将与生产无关的和容易产生尘粒的物品带入;各种个人物品,如钥匙、食品、香1烟、打火机等应放在更衣室柜子里;
工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求,又要满足人的舒适度,温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言,在大规模集成电路进行生产光刻***过程中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。4、洁净区内各无尘车间的门,考虑到维持室内压力状况的需要,其开设方向要朝向压力大的房间,因为要靠压力把门压紧,这显然和安全疏散的要求相反。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压,来防止污染,内外压力差需要保持:洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力;相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间;洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
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