对于大部分的无尘净化车间来说,为了保持内部空间的洁净度,需要将内部的静态压力保持在高于外部静态压力的情况下。这种压力差一般要符合一下原则:
1、无尘净化车间内的压力要恒定高于非洁净区域空间的压力。
2、同一个无尘净化车间内的区域,洁净度高的区域压力要恒定高于洁净度低的区域。
3、两个相通的无尘净化车间之间,开门方向要朝向洁净度更高的区域。
保持无尘净化车间中压力差的主要源头是送风量,且在考虑送风量的时候还要考虑到在压力差的情况下会从缝隙泄漏的空气。
另外,送风量带来的压力主要给予了无尘净化车间压力数量的差别,要在一定时间内造成一定的压力差,还需要一定的气流速度来作为辅助手段,也就是所谓的风速控制。
进入无尘车间前之注意事项
1、任何人进入无尘车间作业或观赏,须依规则换穿无尘衣。
2、非经无尘车间主管许可不得将私人物品(手提袋、书本等)及非洁净室所运用之东西携入无尘车间;维修用之手册及东西在用毕后应立即收起。
3、原物料进无尘车间时,需先在外面拆箱及拭净,并置于货品风淋室携入无尘车间。
4、无尘车间、办公区均为禁烟区,若有吸烟,须于抽后并漱口后,方可进入无尘车间。
5、在无尘车间内,不得饮食、嬉闹,或从事其它与出产无关的事情。
6、进入无尘车间者应坚持身体洁净,头发应常梳洗,并制止运用香水及化妆品。
7、进入无尘车间内不得穿着短裤及布鞋、袜子。
无尘车间内之注意事项
1、进入无尘车间之油漆或物品须先经空气清洗除尘之手续。
2、在无尘车间中制止抓头、抹脸或搓手。
3、严禁在设备上书写及刻画。
4、在无尘室有必要运用洁无尘室纸笔。
5、防止在机器上运用胶带张贴纸张。
6、当运用气1枪时,有必要置于除尘抽风口,以免尘埃污染产品。
异常情况处理
1、在设备发生异常情况(非紧迫情况),请先与设备之担任人或设备部工程师联络后再作处置。
2、遇有气体外泄,***翻洒及火警等紧迫情况请告诉担任人员。
废弃物处理
1、一切废弃物及用过之***应依规则之方式处理及倾倒。
2、随时坚持整洁,勿将废物留给别人,手套、指套、废弃物请勿随手丢,应置入废物桶内。
3、勿将酸及有1机溶剂混合倾倒,以免爆1破。
4、有1机废溶剂应倒入容器中贮存,勿倒入排水体系中。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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