无尘车间
无尘车间主要性能参数：
温度范围：18℃～28℃，可调节。
湿度范围：40%～85%，可调节。
换气次数：根据洁净等级要求。
新风量：≥30立方/小时/人。
静压差：≥5Pa(不同洁净等级区域之间)。
静压差：≥10Pa(洁净区域与非洁净区域之间)。
尘粒1多允许数：根据洁净等级要求。
浮游菌数：根据洁净等级要求。
沉降菌数：根据洁净等级要求。
检验方法：国标 50591-2010。
完1美的外观、合理的设计。
使用的安全及高可靠性。
超静音。
可扩展性。
湿度无非是在施工过程中对水汽的控制。在干燥的天气，放置几个加湿器；在湿润的天气进行一定的除湿工作即可。而温度在日常生活中是相对好控制的，但在无尘车间厂家的施工过程中其实是一个难题。而大部分的无尘净化车间也正是需要保持在一定的温度范围内才能正常进行产品的生产或实验。可能有些人会觉得奇怪，温度不是靠空调可以轻易控制的吗？而实际上，在无尘车间厂家施工的过程中，设备是不可避免地会产生热量，这会使得室内的温度升高，而空调往往无法做到及时调整温度。
无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。另外，平板显示(FPD)产业作为支撑我国电子信息产业持续发展的战略性产业，也是电子厂净化车间的重要用户。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
进入无尘车间的有哪些清洁要求?
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂；
（3）使用已获批准的洁净室去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用拖把。
（7）所有的门都需要检查并擦干。
（8）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（9）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（10）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（11）工作时一定要记住，是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。当然，以现在的技术手段而言，实际上起初季节对施工的一些限制已经可以无视了。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
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