无尘车间对装饰装修有很高的要求,尤其对饰面材料在施工时需注意防积尘和抗静电。为此,并制定了相应的施工措施。
(1)在内墙面层施工时,为保证腻子施工质量,先在抹灰面上涂刷一遍封闭漆结合层,再满刮腻子后涂刷抗静电高分子复合涂料,使墙面达到平整、清洁、不起尘的洁净要求。
(2)厂房内洁净区采用环氧树脂自流平地面,该地面施工速度快,耐腐蚀,整体性好,光滑平整,不起尘,寿命持久。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下,室内静压大于室外静压的数值。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
无尘车间施工要求
1、自流平地面处理,厚度2mm。
2、根据GMP规范要求,缝隙部位要做密封处理。
3、所有的配件与主体结构相连,防止松动和灰尘脱落。
4、缝隙应在正面密封。
5、根据GMP认证检查标准,符合下列要求:
a.选用变形小的材料。
b.墙壁和顶棚应平整、易清洗等。色彩要和谐,便于识别污染物。
c.各个相接处的缝隙须密封。
6、作业中的发尘量须随时清扫。
7、装有过滤器的房间,不能有粉尘的作业。
8、保护好作业面,避免造成板材缺陷。
版权所有©2025 产品网