无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。对于这方面的打造，需要包括通道内部和无尘车间外部空间连接处的保护支持。

进入无尘车间的有哪些清洁要求?

（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；

（2）用90%去离子水和10%的异丙1醇配置清洁剂；

（3）使用已获批准的洁净室去污剂；

（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。

（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。

（6）清洁洁净室的地面应使用拖把。

（7）所有的门都需要检查并擦干。

（8）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

（9）架空地板下也要吸尘及擦拭。

（10）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

（11）工作时一定要记住，是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证无尘车间正压值，送风、回风和排风机1好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机;系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止无尘车间在系统开启和关闭时受到污染。首先说高温，在这种情况下使用的无尘净化车间对于温度较为敏感，也使得用户在夏天需要对洁净空调做一定的设置才能使得无尘净化车间内的温度变化不会太大。

无尘车间相对湿度控制不好，就有可能使无尘车间总体表现下降，而且还会带来以下这些一系列的影响。

　　1、***生长。***和其他生物污染(霉菌，病毒，***，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。而相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可以使***的影响以及呼吸道感1染降至1低。所以无尘车间的相对湿度需要控制在一定范围。除了无尘车间之外，一些粉尘较多的车间也会考虑含尘量的控制，但其主要是以大功率风机作为空气交换设备，依次来达到排出粉尘的目的。

　　2、相对湿度控制不好，容易造成无尘车间工程里的金属腐蚀。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；(5)完了是戴橡胶手套，必须把手套的口套在袖子的第1层袖口外面再把袖子的第二层袖口拉到手套外面。另一种金属，例如氧化铜，是不具有保护能力的。在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

　　3、无尘车间相对湿度控制不好会出现静电荷。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。无尘车间相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。为了保证无尘车间正压值，送风、回风和排风机***1好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机。

　　4、吸水性。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水性产出一定的影响。

　　5、水汽冷凝。在相对湿度较高的无尘车间工程环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩，就是当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。据调查，世界上面积相当大的洁净室即应用于平板显示行业，一个单体的净化车间厂房面积可容纳32架飞机。