在无尘净化车间中，可见的污染源总是较为容易控制的。但对于微生物这类肉眼不可见的污染，想要控制就需要严格的管理搭配良好的净化手段才能对其进行一定的控制。从生物洁净技术的角度来说，在无尘净化车间中控制微生物的污染主要有四个原则：
1.对进入无尘净化车间的空气进行充分地灭菌，例如在净化空调上安装多重过滤器，安装臭氧发生器等。
2.对室内的微生物进行迅速而有效地排除，这里的措施主要有对换气次数和回风系统的优化。
3.不让无尘净化车间内的微生物聚集和繁衍，这主要要靠室内的气流和合格的净化装修模式来实现。
4.防止进入车间的人员、设备和材料携带，在其进入无尘净化车间之前对其进行充足的净化。
对于无尘车间面积小，较分散；对振动、噪声等的控制要求相对较低的情况下，适合采用分散式空调净化系统。其优点是***费、运行费、占用建筑面积及空间都较集中式系统节省。一个比较典型的分散式空调净化系统为例，分析讨论如下。
??风热湿比线占。
??②根据房间余热量Q或余湿量W，按净化级别所要求的通风量G，确定在占线上的送风状态点S。Q-G（iN -/S）。
??③过S点作等d线，并根据加压风机的压头及其后的管道、静压箱与周围环境的换热决定气流的温升缸，一般情况At的值不大于1℃，根据温升量出，在过S的等d线确定c-，使At= ts - tc’。
??④根据空调机组在给定条件下的制冷量Qk及空气质量流量G。，确定其单位风量的携冷量△f。即室内回风经空调机组处理后的焓降量iN -/K。
??QK／GK=△f=iN -/K 。
??以N点为圆心，以iN -/K值为半径画弧线与。=90%～95%相对湿度线相交于K点。由N至K点的变化过程应是降温去湿的减焓过程。
??⑤连结K点与Os点。延长N点与C、点的连线与KQs线相交于C点。C点即为新风与经空调机组处理的回风的混合状态点。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
无尘车间温湿度是如何的？温湿度在无尘车间起到什么作用呢？是这样的，无尘车间温湿度是检验无尘车间内部稳定性的一项重要工作，目的是确认空气处理设施的温度控制能力。无尘车间湿度的测试通常采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，建议采用一同测试。
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